고성능 필터를 통한 오염입자 완벽한 제거작업공간 온·습도, 압력 등 제어기술 필요클린룸 설비는 산업용과 바이오용 클린룸 현장에서 부유 입자, 온도, 습도, 압력, 정전기, 소음, 진동 등을 요구되는 수준으로 제어하는 기술이다. 현재 국내에서 반도체 등 첨단 산업현장이나 바이오 관련 현장에서 설계, 설치공사나 운영유지관리 시 업무수행에 필요한 클린룸 설비의 전반적인 내용을 소개하고자 하며, 우선 클린룸의 정의, 규격, 등급, 종류, 시스템 및 적용분야, 설비의 구성, 구성기기 등의 내용을 소개하고자 한다. /편집자 주◇ 클린룸이란클린
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김규생 교수
2023.07.31 07:00